高純度フッ化水素の供給可能

「相対的に難度が高いガス形態の高純度フッ化水素(エッチングガス)も国産化できる見通しだ」。 ソルブレインのパク・ヨンス中央研究所長(副社長)は8日、「純度99.999%以上の高純度フッ化水素も供給可能」とし、このように述べた。 パク副社長は「ガス運搬および保管に必要な容器を確保しなければいけないが、大きな問題はないとみている」と話した。日本が韓国への輸出を規制している高純度フッ化水素…

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